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Air- Tung |
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無塵室因業界需求不同,等級也不盡相同,主要分為CLASS 1 ,10,100所使用之層流式,與CLASS 1000,10000,100000使用的亂流式,以Class1000 為例,即一立方英尺空間中大於0.5um的微塵數不超過1000個(視產業對微塵大小要求而定),測量方式為微塵計數器風量1CFM下測試一分鐘之微塵數量,詳細內容可參考 以下文件
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